真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪应用于化工管道检漏化学气体大部分为有毒气体，对人体造成很大的伤害，甚至会出现停止呼吸而。
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喷氦法
喷氦法是，的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。高压开关检漏——氦质谱检漏仪高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。
喷氦法检漏中应该注意以下几个问题：
1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷枪所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷枪喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。
2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由*近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。
3、检出的大漏孔要经修补后再去漏孔。
4、当存在两个相距很近的的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用细的喷枪进行喷氦。
5、当喷枪喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。
6、检出漏孔后，还应再做几次复检。
7、检漏场地要有良好的通风条件，但也不能太大，不应影响喷枪喷出的氦气气流的方向。
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